石英片镀膜要注意什么？

今天和大家简单谈谈关于石英片磁控溅射镀膜需要注意什么。

一、优点

1、一般备有辅助离子源，可以用来清洗石英片，清洗效果好；

2、由于装有中和器，也可以用来制备绝缘膜层；

3、易于制备熔点高的材料；

4、制备合金膜层，可以保证膜层材料比例与靶材相同；

5、靶材粒子能量高（比热蒸发高出1个数目级），所制备膜层更致密，与石英片结协力更高。

二、缺点

1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁；

2、一般镀膜速率较慢，每秒几十埃；

3、不适宜制备较大面积薄膜。

三、机器运行时的注意事项

1、关注真空度指标；

2、保持机器内舱各部位的清洁；

3、测试并记录镀好的石英振子主要指标，如：频率、电阻、DLD等；

4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度；

5、根据镀出石英振子的散差，调整遮挡板的各部尺寸；

6、检查并记录抽真空的时间，如有延长，立刻检查造成的原因；

7、将不良品挑出：电极错位、划伤、脏污、掉银等。